…supraleitenden Damaszener-Tantalnitrid (TaN)-Nanodrähten mit einer Breite von 100 nm bis 3 μm und TaN-Dicken zwischen 5 nm … Prozesse. Die für die Herstellung von Nanodrähten ausgewählte TaN-Filmzusammensetzung wurde durch eine detaillierte…
Originalartikel lesen: …und darüber hinaus mit #TaN-Nanodrähten im 300-mm-Wafer-Maßstab! 🌟✨ #QuantumComputing…
